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实验平台

飞秒激光沉积系统

飞秒激光沉积系统

来源 未知 更新 2017-01-07 14:28

英文名称:Plasma Deposition System for Femtosecond Laser

型号及规格:PLD-450B

生产厂商:中国 中科院沈阳科仪公司

设备主要功能及性能简介

该飞秒激光沉积系统通过机械泵和分子泵进行抽真空,将腔室的气压降低,从而进行真空环境中的飞秒激光镀膜实验。

沉积室极限真空度:≤8.0×10-7 Pa;系统真空检漏率:≤5.0×10-7 Pa·L/S;进样室极限真空:≤5.0×10-4 Pa;抽真空速度:20 min内可从大气压强降至5.0×10-3 Pa。

设备应用及项目支撑情况

该系统主要用于机械工程类各专业的本科生、研究生的教学、以及智能激光制造湖南省重点实验室项目研究使用。目前,该系统主要用于真空条件下飞秒激光镀膜,真空条件下飞秒激光诱导光谱探测等研究。

主要的项目支撑有:激光制造前沿科技创新平台(531109010035),并承担了多项与企业合作的横向课题。